1.材料概述
| Nominal AlN Thickness | 400nm |
| Orientation | c-axis (0001) + 0.2° |
| Surface | SSP Epi-ready RMS ~1nm |
| Substrate | Sapphire (0001) |
2.规格与价格
| 产品 | 产地 | 规格 | 1片 | 单位：人民币 |
|---|---|---|---|---|
| AlN on Sapphire | 美国 | Φ50.80mm | 5600 | |
| AlN on Sapphire | 美国 | Φ101.6mm | 13500 | |
| AlN on Sapphire | 美国 | Φ152.4mm | 20000 |
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